日本曹達、千葉工場でVPポリマーの生産能力増強

2017年3月15日

 農業化学品、医薬中間体、電子材料等を製造する日本曹達(東京都千代田区)は14日、千葉県市原市の千葉工場で半導体フォトレジスト材料「VPポリマー」の製造設備を増強すると発表した。

 「VP ポリマー(ポリパラヒドロキシスチレン)」は、半導体用のKrFフォトレジスト材料として使用されている。半導体の大容量化・高速化ニーズの高まりに伴うi線レジストのKrF化や、3次元NAND型メモリーの需要拡大などによりKrFフォトレジストの使用量は増加しており、同社製「VP ポリマー」のニーズが高まっている。

 今回、需要に対応するとともに安定的な供給体制を確保するために、「VP ポリマー」製造設備の生産能力増強を決定した。

■ 設備投資概要

所在地:千葉県市原市五井南海岸12-8(千葉工場内)
投資額:10億円
増強品目:半導体フォトレジスト材料「VPポリマー」
増強内容:50%の生産能力増強
完成予定:2018年春

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