信越化学工業（東京都千代田区）は11日、フォトマスクブランクス事業の拡大を目指し、武生工場、直江津工場に140億円を投資すると発表した。

　近年、半導体デバイスの生産量の増加や微細化の進展により、フォトマスクブランクスの世界需要は汎用AｒF品、先端AｒF品ともに増加している。

　今回、武生工場では新工場棟と先端AｒF品を生産する設備を増強し、2021年4月までの工事完了を目指す。直江津工場では事業の中核である汎用AｒF品を生産する設備を増強し、2019年末までの工事完了を目指す。この投資により、信越化学のフォトマスクブランクスの生産能力は現在の3割増となる。