荏原製作所は9日、海外グループ会社であるEBARA Precision Machinery Europe（以下：EPME）がドレスデン（ドイツ）のヴァイックドルフに、EPME2番目となるドライ真空ポンプのオーバーホール工場を建設すると発表した。

　EPMEは精密・電子事業におけるドライ真空ポンプ、ターボ分子ポンプ、半導体製造におけるチップ製造で用いられるCMP装置や化学産業などで用いられる排ガス処理装置の販売・サービスを、ヨーロッパ市場をメインに展開している。

　同社初のオーバーホール工場は、1993年にスコットランドのリビングストンにオープン。同工場では、荏原や他のメーカーのドライ真空ポンプのオーバーホールを行っている。

　ドレスデンは、「シリコンザクセン」と呼ばれるハイテク都市。EPMEのドレスデンの拠点はヨーロッパ市場で精密・電子事業の中心的な役割を担っており、現在は事務所と倉庫を併設している。オーバーホール工場は事務所の隣に建設し、竣工は2021年春を予定。敷地面積は800㎡。投資額は約160万ユーロ（約2億円）。

　新しいオーバーホール工場の設置によって、荏原グループは同社の長期ビジョン「E-Vision2030」で掲げる社会のスマート化を支える半導体製品の進化に、製造装置、機器の開発で貢献していく。