ウシオ電機、御殿場事業所で投影露光装置を増産

2021年5月12日

 ウシオ電機は11日、静岡県の御殿場事業所で投影露光装置を増産すると発表した。

 今回、IoTの進展に伴い、大容量かつ高速でのデータ処理に対応したデータセンター向けサーバーの需要等が想定を上回っており、それに伴い高い解像性や重ね合せ精度が求められるICパッケージ基板の要求も増加していることから、同基板向け露光装置の更なる増産を決定した。

■ 設備投資概要

所在地:静岡県御殿場市駒門1-90(御殿場事業所)
投資総額:15億円
投資内容:最先端ICパッケージ基板向け投影露光装置の生産スペースの拡張
生産能力:既存の生産能力を約1.3倍以上に増強
着工:2021年度上期(レイアウトの変更、生産設備の増強開始)
生産開始:2022年度上期中(生産能力1.3倍以上)

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