ADEKA、千葉工場で光酸発生剤の生産能力増強

2021年8月31日

 ADEKAは30日、EUV(極端紫外線)をはじめとする半導体の先端リソグラフィ工程で使用される光酸発生剤の生産能力を増強すると発表した。

 5G通信の普及とテレワークなどのライフスタイルの変化に伴い、半導体需要が活況であることを背景に、同社の光酸発生剤「アデカアークルズ」シリーズの販売が好調に推移している。

 同製品は、微細なパターニング形成とppb(10億分の1)レベルの低メタル管理を特長とし、世界トップクラスの性能を持っている。

 今後、半導体の微細化進展に伴い、最先端リソグラフィ技術であるEUV露光の拡大が予想されており、従来のリソグラフィ向け光酸発生剤の技術革新が必要とされている。

 今回の投資ではEUV向け製品の提供を加速するため、従来では対応が難しいppb>1レベルの低メタル管理を実現する最新の設備を導入する。

 また、導入を決定した生産設備では、微細化進展に伴い新たに必要となる半導体周辺材料の生産も計画している。

■ 設備投資概要

所在地:千葉県袖ケ浦市北袖3-1(ADEKA 千葉工場)
投資額:27億円
延床面積:1,698㎡
(2020年度時点:280㎡)
事業内容:光酸発生剤の製造
増強能力:従来比2倍以上
着工予定:2022年3月
営業運転開始予定:2023年度中

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