総合化学大手の昭和電工（東京都港区）は4日、川崎事業所内にある電子材料製造用特殊ガスのひとつである高純度三塩化ホウ素（BCl3）の生産能力を従来の1.5倍に引き上げると発表した。

　高純度BCl3は、液晶パネルやシリコン半導体の製造工程において、アルミ配線の微細加工（エッチング）に使用される特殊ガス。近年、アルミ配線を使用する有機EL（OLED）パネルや低温ポリシリコン（LTPS）液晶パネルへの投資が相次いでおり、今後も安定的な需要が予想されることから、今回、川崎事業所の製造設備の増強を決定。16年3月の稼働開始を予定する。

　同社は中期経営計画“Project 2020＋”において、電子材料用高純度ガスを成長加速事業に位置づけている。今後も拡大する世界の電子材料市場に迅速に対応し、同事業の強化・拡大を図るとしている。