ウシオ電機は11日、静岡県の御殿場事業所で投影露光装置を増産すると発表した。

　今回、IoTの進展に伴い、大容量かつ高速でのデータ処理に対応したデータセンター向けサーバーの需要等が想定を上回っており、それに伴い高い解像性や重ね合せ精度が求められるICパッケージ基板の要求も増加していることから、同基板向け露光装置の更なる増産を決定した。