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三菱電機、福山工場にウエハプロセス工程の新ライン

2023年8月31日

三菱電機は29日、パワー半導体の製造(ウエハプロセス工程)を行う福山工場に初めての12インチSiウエハ対応生産ラインを設置したと発表した。

 同社は、Siパワー半導体のウエハプロセス工程における生産能力を2025年度に2020年度比で約2倍に増強するため、福山工場の12インチSiウエハ対応生産ラインを2024年度から量産移行する予定。

 近年、脱炭素社会の実現に向け、電力を効率よく制御するパワー半導体の需要が拡大している。パワー半導体は、電気自動車、エアコン等の民生機器、産業用機器、再生可能エネルギー、電鉄などの製品に広く使用されており、需要拡大にも対応し、安定供給が求められている。今回の12インチウエハ対応生産ラインの導入により、パワー半導体の生産能力を増強し、市場へ安定供給することで脱炭素社会の実現に貢献する。

■ 設備投資概要

所在地:広島県福山市大門町旭1番地(パワーデバイス製作所 福山工場)
生産ライン:12インチSiウエハ対応生産ライン
生産能力:ウエハプロセス工程 約2倍(2025年度。2020年度比)
量産開始予定:2024年度

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