東京エレクトロンは15日、開発・製造子会社の東京エレクトロン九州が建設していた「プロセス開発棟」が完成したと発表した。

　半導体市場の成長が見込まれる中、東京エレクトロンは三次元実装向け装置の開発・製造を担う東京エレクトロン九州の研究開発体制を強化するため、設備投資を実施した。微細化と高集積化が進む半導体分野で、超高速・大容量・高信頼性・低消費電力を実現する技術革新に対応する。

　完成したプロセス開発棟では、安全・品質・環境を重視した開発体制のもと、デジタル技術を活用した開発の高度化や効率化を進め、高付加価値かつ高品質な製品の迅速な提供を目指す。