オキサイドは3月31日、山梨県北杜市の本社隣接地に第4工場と第5工場が竣工したと発表した。

　第4工場では、半導体事業における主力製品であるレーザ装置のメンテナンス業務とサプライチェーンの安定化を目指した一部主要部品の内製化に取り組む。同社は、レーザ装置の量産体制を確立して以来、新規レーザ装置の累計出荷台数が順調に増えている。レーザ装置は、新規販売から一定期間(1年から2年程度)毎に主要部品の交換等のメンテナンスが必要となることから、今期以降、レーザ装置のメンテナンス需要の拡大が見込まれている。

　これまでは、横浜事業所で新規レーザ装置の製造とメンテナンス業務の両方を行っていたが、十分なメンテナンス需要に対応する体制構築とBCPの観点から、メンテナンス業務を山梨第4工場で行う。今回の第4工場稼働（第1期工事）により、新規レーザとメンテナンスを合わせたレーザ装置の総生産キャパシティは従来の約2倍となる。竣工後、設備の導入を行い、2023年8月頃の本格稼働を予定している。

　第5工場では、新領域事業で注力している次世代パワー半導体材料SiC単結晶の量産に向けた研究開発を行う。同社は、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）のグリーンイノベーション基金事業（GIF）を通して、高品質な8インチSiCウェハの社会実装を目指した研究開発や、溶液法によるSiC単結晶の育成に取り組んでいる。

　これまでは、名古屋大学内の設備を活用した研究開発を行っていたが、今後は、第5工場に結晶育成炉を新たに設置し、量産化に向けた研究開発を加速させる。