フェローテックは30日、熊本県菊池郡大津町に建設を進めていた半導体製造装置部品の精密再生洗浄工場「熊本工場」が竣工したと発表した。

　同社は、半導体製造工場向けの装置や部品を対象に汚れの除去から修理・再生までを行う精密部品再生洗浄サービスを提供しており、熊本工場はこの分野で国内最大級の拠点となる。新工場はフェローテックテクノロジーデベロップメントジャパンが運営し、敷地面積3万㎡、建屋面積1万3000㎡。主要設備としてPVD・CVD・エッチング装置部品の再生洗浄設備、プラズマやアーク溶射機、超音波顕微鏡や三次元測定機などを導入している。

　新工場の従業員は2028年に約200名体制を見込む。半導体製造プロセスの微細化が進む中で、部品の洗浄技術や再生技術への高度な要求が高まっており、同社はこれに対応するための国内生産体制を強化する。熊本工場の稼働により、国内における半導体製造装置向け再生洗浄サービスの供給力向上と、関連部材事業とのシナジー拡大を図る。