三菱マテリアル（東京都千代田区）は7月28日、基幹工場で、兵庫県三田市にある三田工場内に量産技術センターを新設すると発表した。

　今回、フラットパネルディスプレイや太陽電池等の基板の大型化に伴い、対応する円筒型、大型平板のスパッタリングターゲットの量産技術の開発・製造を加速させるため新設を決めた。

　スパッタリングターゲットは、対象とする基板に原子レベルで合金や金属酸化物等の物質を付着させ、薄い膜を形成するための電子材料。近年では60インチ（約1.5m）を超える大型テレビの普及が進み、大きな面積の対象基板に均質な膜を形成できるスパッタリングターゲットの需要が高まっている。

　特に円筒型は大面積基板に対応できることに加え、利用効率が高いという特性を持っていることから、円筒型スパッタリングターゲットの市場規模は現在100億円以上と推定されており、今後もさらに拡大していくと期待されている。

　新設した量産技術センターに円筒型・大型平板スパッタリングターゲットの開発設備、生産設備を導入したことにより、顧客のニーズにタイムリーに対応する製品の開発・製造体制を強化していく。